ロームがグリーンイノベーション基金事業の技術目標を2年前倒しで達成しました ―8インチSiCデバイス製造体制の構築完了―

NEDOは、グリーンイノベーション基金事業において、ロームが進める8インチSiC MOSFET開発の技術目標が当初計画より2年前倒しで達成されたと発表した。ロームは8インチSiCウエハに対応したエピタキシャル成長技術や低オン抵抗化技術を確立し、これらを統合した製造ラインを構築した。その結果、電力変換器における電力損失を50％以上低減しつつ低コスト化も実現した。さらに安定供給に向けた生産基盤も整備され、実用化に向けた体制が確立された。本成果は電動車や再生可能エネルギー分野の省エネ化に貢献し、カーボンニュートラル実現を加速する重要な技術進展と位置付けられる。