クライオ吸着ポンプによる高効率な排気

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平成29年12月6日

高性能クライオ吸着ポンプによる高効率な排気を実現
-真空容器の中でダイバータに集めた粒子を排気-

大学共同利用機関法人 自然科学研究機構
核融合科学研究所

 

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0107工場自動化及び産業機械
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