クライオ吸着ポンプ

平成２９年１２月６日 高性能クライオ吸着ポンプによる高効率な排気を実現 －真空容器の中でダイバータに集めた粒子を排気－ 大学共同利用機関法人　自然科学研究機構 核融合科学研究所