マイクロ空間内に均一な原子層を形成させる新技術~狭窄空間内への新たな原子層堆積手法の開発~
2023-05-12 東京大学ポイント きわめて狭い空間(マイクロ空間)に対して均一に原子層堆積(ALD)を行う新手法を開発した。 従来困難だったレベルの狭窄空間(長さ1000mm、内径100μm のキャピラリーチューブ)に対しても均一なA...
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