0110情報・精密機器 MEMS一体型の単結晶ダイヤモンド量子センサー実現 ―振動中の曲げ応力を直接検出―
2026-09-03 東北大学本研究は、単結晶ダイヤモンド(SCD)製MEMSカンチレバーに埋め込んだNVセンターを、振動による曲げ応力を直接測定する量子センサーとして利用する技術を実証したものです。カンチレバー内部の引張・圧縮応力に応じて...
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1701物理及び化学
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