0501セラミックス及び無機化学製品 極端紫外線レーザーにより熱影響が極めて少ない材料加工を実現
極端紫外線フェムト秒レーザーを用いて熱影響の極めて少ない合成石英を加工を実現しし、加工特性として重要な有効吸収長や損傷閾値を決定するとともに加工モルフォロジーを明らかにした。
0501セラミックス及び無機化学製品
0108交通物流機械及び建設機械
0505化学装置及び設備
0505化学装置及び設備
0501セラミックス及び無機化学製品
0501セラミックス及び無機化学製品
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0505化学装置及び設備
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0505化学装置及び設備
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0502有機化学製品