世界初の「流体力学式液中粒子計数器 PT-01F」を発売~流れ場における粒子の物性推定手法を製品化~

リオンと産業技術総合研究所、キオクシアは、流れ場粒子追跡法（FPT法）を用いた世界初の「流体力学式液中粒子計数器 PT-01F」を開発・製品化した。本装置は粒子のブラウン運動を解析し、粒径・個数に加えて屈折率まで同時測定できる点が特徴で、従来の光散乱方式を大きく拡張する。これにより、半導体製造における超純水や薬液中の微粒子の物性把握が可能となり、不良原因の特定や歩留まり向上に貢献する。さらにリアルタイム・インライン測定に対応し、生産効率改善と装置立ち上げ時間短縮にも寄与する次世代計測技術である。