0403電子応用 不揮発性メモリ素子が壊れる瞬間を可視化~電子デバイスの新たな非破壊顕微解析手法を開発~
2023-10-24 東京大学発表のポイント◆大規模集積化が可能なメモリ素子の新材料HfO2系強誘電体を用いたキャパシタが100万回以上のデータ書き換えによって絶縁破壊する様子を電極越しに可視化することに成功した。◆レーザー励起光電子顕微鏡...
0403電子応用
1700応用理学一般
0402電気応用
1701物理及び化学
0703金属材料
0505化学装置及び設備
1700応用理学一般
1702地球物理及び地球化学
0501セラミックス及び無機化学製品
1701物理及び化学
1701物理及び化学
1600情報工学一般