0404情報通信 6G通信に向けたテラヘルツ光スイッチを開発―単層シリコン基板で導波路とMEMSの一体化を世界初実証―
2026-05-07 東北大学東北大学大学院工学研究科の研究グループは、6G通信向けとなるテラヘルツ帯用光スイッチを開発し、単層シリコン基板上で導波路とMEMSを一体形成することに世界で初めて成功した。次世代6G通信では超高速・大容量通信を...
MEMS
0404情報通信 
0403電子応用 原子単層膜の振動を用いた「質量」と「個数」の同時計測に成功 (夾雑物の誤検知に強い、超高感度なウイルス検出IoTバイオセンサの実現へ)
20026-04-23 豊橋技術科学大学豊橋技術科学大学、産業技術総合研究所、東洋大学の共同研究チームは、グラフェンを用いた高感度マルチモーダル・バイオセンサを開発した。MEMS技術により作製した自立グラフェン膜の共振特性を利用し、振動周波...
0403電子応用 世界最小の加速度センサーがウェアラブルやゲームの新時代を指し示す
(World’s smallest accelerometer points to new era in wearables, gaming)グラフェンを使用した世界最小のピエゾ抵抗型 NEMS(ナノ電気機械）加速度センサーを開発。