EUV光源

次世代2µm固体レーザー向け高効率EUV光発生法を実証－EUV光源の発生効率を40％向上－

2026-08-25 理化学研究所,宇都宮大学理化学研究所と宇都宮大学を中心とする国際共同研究グループは、次世代EUV露光装置向けの波長2μm固体レーザーを用い、EUV光の発生効率を約40％向上させる「マルチレーザー照射法」を実証した。現在...

2026-08-26

0403電子応用