ＭＥＭＳ振動子

2020-12-14 科学技術振興機構 ポイント 第５世代移動通信システム（５Ｇ）に求められる高精度な同期を実現する高性能な周波数基準発振器として、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）発振器が期待されている。 シリコン系ＭＥＭＳ振動子は高温下で...