0403電子応用 窒化ガリウム (GaN) に注入した微量元素の分布と電気的状態をナノスケールで可視化
窒化ガリウム (GaN) に注入した微量なマグネシウム (Mg) の分布や電気的状態を、ナノスケールで可視化することに世界で初めて成功した。Mgイオン注入によりGaNがp型半導体に変化するメカニズムの一端が明らかに。
0403電子応用
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0501セラミックス及び無機化学製品
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