クライオ吸着ポンプによる高効率な排気

平成２９年１２月６日

高性能クライオ吸着ポンプによる高効率な排気を実現
－真空容器の中でダイバータに集めた粒子を排気－

大学共同利用機関法人　自然科学研究機構
核融合科学研究所

[gview file=”https://tiisys.com/wp/wp-content/uploads/2017/12/171206mechanical-kuraioponnpu.pdf”]