0110情報・精密機器 世界最高精度で曲面ミラーの形状を測る装置を開発 －EUV露光装置などに用いられる光学素子形状を、2ナノメートル精度で非接触測定－
2026-07-06 産業技術総合研究所産業技術総合研究所（産総研）は、EUV露光装置や放射光施設などで用いられる高精度曲面ミラーの絶対形状を、非接触で世界最高水準となる2ナノメートル精度で測定できる新しい形状測定装置を開発した。従来の干渉...
最新の科学技術の情報インフラ。
0110情報・精密機器 
1601コンピュータ工学