極微細穴あけ加工

2022-10-24 東京大学,味の素ファインテクノ株式会社,三菱電機株式会社,スペクトロニクス株式会社 次世代の半導体製造に資する10マイクロメートル以下を満たす、6マイクロメートル以下の穴あけを高品質かつ高生産性を維持し実現できることを...