分布型分極ドーピング

2026-05-25 東京大学東京大学大学院工学系研究科とNTTは、超低損失なAlN系ショットキーバリアダイオード（SBD）の試作実証に成功した。成果はISPSD 2026で発表予定である。研究では、組成傾斜AlGaN耐圧維持層とAlN/A...