アモルファスアルミ酸化物

アルミ酸化膜を用いた新しい不揮発メモリの電子状態の観測に成功 『原子力機構の研究開発成果2020-21』P.62 図5-16　アモルファスアルミ酸化物の内部構造のイメージ図 アモルファスアルミ酸化物では、酸素原子とアルミニウム原子が不規則に...