計算機断層撮影

高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現 ―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―

2026-07-09 東北大学東北大学の研究グループは、高輝度放射光施設「NanoTerasu」のテンダーX線を利用したX線タイコグラフィとCTを組み合わせることで、次世代3D NANDフラッシュメモリに用いられる高アスペクト比エッチングホ...

2026-07-09

0403電子応用