0505化学装置及び設備 1024個の堅牢な分子センサーを1チップに集積化
1024個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサーを1チップに集積化したセンサーアレイを開発し、揮発性分子の空間濃度分布の可視化に成功した。導電性金属酸化物電極を持つ横型ナノ薄膜チャネル構造とアナログフロントエンド回路技術により、長期間安定かつ高密度集積が可能なセンサーアレイ・システムを実現した。
0505化学装置及び設備
0108交通物流機械及び建設機械
1600情報工学一般
2004放射線利用
0505化学装置及び設備
1900環境一般
1701物理及び化学
1701物理及び化学
1702地球物理及び地球化学
0505化学装置及び設備
1600情報工学一般
0501セラミックス及び無機化学製品