0403電子応用 電子顕微鏡が半導体の「マウスバイト」による欠陥を可視化 (Electron microscopy shows ‘mouse bite’ defects in semiconductors)
2026-03-02 アメリカ合衆国・コーネル大学コーネル大学の研究チームは、高分解能電子顕微鏡を用いて、半導体内部に形成される「マウスバイト欠陥」と呼ばれる微細欠陥構造を詳細に可視化することに成功した。マウスバイト欠陥は、材料表面や界面に...
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