最先端構造トランジスタを試作可能な共用プロセスを独自開発～300 mmウエハーの共用パイロットラインで新規装置・材料の技術検証が可能に～

産業技術総合研究所は、NEDO支援のもと東京エレクトロン、SCREENセミコンダクター、キヤノンと共同で、最先端ロジック半導体向けゲートオールアラウンド（GAA）構造トランジスタを試作可能な共用パイロットラインを国内で初構築した。300mmウエハー対応設備を備え、装置・材料メーカーが自社技術を適用・検証できる国内唯一の環境を提供。Fin型からGAA構造への移行に伴う微細化・立体化技術に対応し、日本の半導体装置・材料産業の国際競争力強化と人材育成を目指す。成果は11月14日の産総研公開シンポジウムで発表予定。