半導体製造装置

2026-07-29 新エネルギー・産業技術総合開発機構NEDOとニコンは、先端半導体製造におけるウェハの位置や方向を高精度に測定するアライメント計測システムを開発し、次世代計測技術に必要な要素技術を確立した。新たに、可視光から近赤外光まで...