0403電子応用 窒化ガリウム (GaN) ウエハ全面の「ゆがみ」をすばやく詳細に可視化する新手法を開発
窒化ガリウム (GaN) 半導体の直径2インチウエハ結晶面の「ゆがみ」を、ウエハ全面を一度に、しかも数10マイクロメートルの空間分解能で可視化する新たな評価手法を開発しました。
0403電子応用
0501セラミックス及び無機化学製品
1401漁業及び増養殖
1205農村地域計画
1600情報工学一般
0500化学一般
0404情報通信
1700応用理学一般
0403電子応用
0300航空・宇宙一般
0703金属材料
0303宇宙環境利用