0403電子応用 高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現 ―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―
2026-07-09 東北大学東北大学の研究グループは、高輝度放射光施設「NanoTerasu」のテンダーX線を利用したX線タイコグラフィとCTを組み合わせることで、次世代3D NANDフラッシュメモリに用いられる高アスペクト比エッチングホ...
0403電子応用
0504高分子製品
0403電子応用
0500化学一般
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0403電子応用
0703金属材料
2000原子力放射線一般
2004放射線利用
1701物理及び化学
1700応用理学一般
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