0501セラミックス及び無機化学製品 半導体用高純度シリコンの収率の限界を突破
水素ラジカル発生・輸送装置の開発で15%以上の収率向上が期待2020-08-07 物質・材料研究機構 ,筑波大学NIMSと筑波大学は、従来は25%が限界といわれていた物質・材料研究機構 ,筑波大学を生成するシーメンス法のSi収率を向上させる...
0501セラミックス及び無機化学製品
0402電気応用
1700応用理学一般
1206農村環境
1104空気調和
0502有機化学製品
0403電子応用
0107工場自動化及び産業機械
2004放射線利用
1701物理及び化学
1602ソフトウェア工学
0400電気電子一般