0110情報・精密機器 超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明~ナノスケールの超精密・直接加工が可能に
X線自由電子レーザー「SACLA」を用いて超短パルス軟X線レーザーに特有の表面加工メカニズムを解明した。
0110情報・精密機器
0500化学一般
1600情報工学一般
0502有機化学製品
0502有機化学製品
0501セラミックス及び無機化学製品
1101大気管理
2004放射線利用
1202農芸化学
0502有機化学製品
1202農芸化学
0502有機化学製品