3D表面計測のための新光学プロフィロメータを開発（New optical profilometer for 3D surface metrology）

フィンランドのVTT MIKESが最新鋭の光学プロフィロメーター（3D表面メトロロジー装置）を導入し、精密部品の高解像度・非接触3次元表面形状・テクスチャ測定に対応すると発表した。この装置は共焦点顕微鏡、干渉計、アクティブ照明フォーカスバリエーションを統合しており、ナノメートルからミリメートルまで幅広いスケールで高速かつ高精度の測定が可能となる。高精度3D表面測定は、機械的適合性、摩耗、潤滑効率などの性能評価やISO規格準拠、品質保証に不可欠であり、マイクロエレクトロニクス、光学、医療機器、航空・自動車、半導体などの産業で活用される。新装置は既存の機器群の精度ギャップを埋め、より大きく複雑な形状に対してトレーサブルな測定を提供するとしている。