0400電気電子一般 深紫外レーザー技術のブレークスルー(Breakthrough in Deep Ultraviolet Laser Technology)
2025-03-24 中国科学院(CAS)ChatGPT:中国科学院の研究者らは、193nmの深紫外(DUV)コヒーレント光を生成する小型固体レーザーシステムを開発しました。これは半導体リソグラフィーに重要な波長で、Yb:YAG結晶増幅器を...
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