0107工場自動化及び産業機械 フェムト秒レーザー光の高次高調波によって薄膜の微細加工に成功!
近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波として極端紫外光を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光して試料に照射することによって、サブマイクロメートルスケールでの微細加工を実現した。
0107工場自動化及び産業機械
0109ロボット
0402電気応用
0403電子応用
1701物理及び化学
2004放射線利用
1604情報ネットワーク
1702地球物理及び地球化学
0502有機化学製品
0401発送配変電
0502有機化学製品
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