0403電子応用 高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現 ―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―
2026-07-09 東北大学東北大学の研究グループは、高輝度放射光施設「NanoTerasu」のテンダーX線を利用したX線タイコグラフィとCTを組み合わせることで、次世代3D NANDフラッシュメモリに用いられる高アスペクト比エッチングホ...
X線タイコグラフィ
0403電子応用 
0500化学一般 硫黄の結合状態を3次元で可視化 ―ミクロな材料内部の化学状態をナノスケールで観察―
2026-05-27 東北大学Tohoku Universityの研究グループは、硫黄の化学結合状態をナノスケールで三次元可視化する新手法を開発した。研究では、放射光施設 NanoTerasu のBL10Uビームラインを用い、硫黄K吸収端近...
2004放射線利用 マルチビームX線タイコグラフィを実証 ～放射光を高い効率で利用し観察視野を広げ～
放射光マルチビームを用いたX線タイコグラフィ（マルチビームX線タイコグラフィ）の実証に成功した。放射光を高い効率で利用でき、単一ビームを用いた従来法よりも広い視野で試料を観察できるといった特長がある。