0110情報・精密機器 200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発
接合層の無い透明な5µm厚の薄膜シンチレーターの開発に成功し、X線撮像の理論限界に近い200nmの解像力を実現した。超大規模集積回路デバイス内部の300nm幅配線の撮像に世界で初めて成功した。
0110情報・精密機器
2004放射線利用
2004放射線利用
1701物理及び化学
0502有機化学製品
0505化学装置及び設備
1701物理及び化学
1604情報ネットワーク
0501セラミックス及び無機化学製品
0403電子応用
1700応用理学一般