0110情報・精密機器 世界最高レベルの精度で球の直径測定を実現~自由曲面レンズの形状測定の精度を1桁向上~
2024-12-16 産業技術総合研究所ポイント 表面粗さが1ナノメートル以下のシリコン製ブロックゲージを基準とした球の直径の校正方法を提案 不確かさ(測定精度)15 nmで球の直径を測定できる三次元測定機(µ-CMM)を開発 先進運転支援...
0110情報・精密機器
0505化学装置及び設備
1600情報工学一般
0503燃料及び潤滑油
0403電子応用
0500化学一般
1700応用理学一般
0400電気電子一般
0403電子応用
1700応用理学一般
1700応用理学一般
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