0403電子応用 高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現 ―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―
2026-07-09 東北大学東北大学の研究グループは、高輝度放射光施設「NanoTerasu」のテンダーX線を利用したX線タイコグラフィとCTを組み合わせることで、次世代3D NANDフラッシュメモリに用いられる高アスペクト比エッチングホ...
0403電子応用
0505化学装置及び設備
0500化学一般
1603情報システム・データ工学
2000原子力放射線一般
2004放射線利用
0102材料力学
0102材料力学
2004放射線利用