シリコン微細加工

硬くて脆いシリコンをフレキシブル化することでテラヘルツ波を制御～MEMS微細加工で「フレキシブル・テラヘルツシリコンフォトニクス」を創成～

2026-10-27 東北大学東北大学の研究チームは、微細加工技術を用いて、硬くて脆い単結晶シリコンに柔軟性と伸縮性を持たせ、テラヘルツ波に対する光学応答を機械的に制御する技術を開発した。シリコン基板に微細なばね状構造を形成することで、基板...

2026-10-28

0403電子応用