0110情報・精密機器 超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明~ナノスケールの超精密・直接加工が可能に
X線自由電子レーザー「SACLA」を用いて超短パルス軟X線レーザーに特有の表面加工メカニズムを解明した。
0110情報・精密機器
0704表面技術
0501セラミックス及び無機化学製品
0704表面技術
0107工場自動化及び産業機械