0110情報・精密機器 超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明~ナノスケールの超精密・直接加工が可能に
X線自由電子レーザー「SACLA」を用いて超短パルス軟X線レーザーに特有の表面加工メカニズムを解明した。
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0403電子応用
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