2020-09-19

0400電気電子一般

高い強誘電性を有する窒化物強誘電体の薄膜化に成功~低消費電力の不揮発性メモリへの応用に期待~

2020-09-19 産業技術総合研究所 要点 高い強誘電性を有する窒化アルミニウムスカンジウムで、これまでよりさらに強誘電性が高い膜の作製に成功。 10万分の1ミリメートル以下の薄い窒化アルミニウムスカンジウム薄膜で...
ad
タイトルとURLをコピーしました