0403電子応用 半導体デバイス製造の進展を促進する ANL の新しいエッチング技術
(New Argonne etching technique could advance the way semiconductor devices are made)より微細で複雑な構造のデバイスの製造を可能にする、分子層エッチング(MLE)技術を開発。
0403電子応用
0403電子応用
2005放射線防護
2005放射線防護