0403電子応用 300 mmウエハー積層により単結晶トンネル接合素子をLSIに集積化
不揮発性メモリーMRAM用の単結晶記憶素子をシリコンLSIに集積化する製造プロセス技術を開発した。
0403電子応用
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1701物理及び化学
1600情報工学一般
0402電気応用
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0108交通物流機械及び建設機械
1701物理及び化学
0402電気応用
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