0505化学装置及び設備 1024個の堅牢な分子センサーを1チップに集積化
1024個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサーを1チップに集積化したセンサーアレイを開発し、揮発性分子の空間濃度分布の可視化に成功した。導電性金属酸化物電極を持つ横型ナノ薄膜チャネル構造とアナログフロントエンド回路技術により、長期間安定かつ高密度集積が可能なセンサーアレイ・システムを実現した。
0505化学装置及び設備
1900環境一般
0501セラミックス及び無機化学製品
0503燃料及び潤滑油
0405電気設備
0402電気応用
0502有機化学製品
0502有機化学製品
1602ソフトウェア工学
0110情報・精密機器
0404情報通信
0403電子応用