0403電子応用 ピュアオゾンガスと水蒸気によるOHラジカル生成技術を 酸化物半導体デバイス製造プロセスに適用 ～長期安定性に優れた半導体動作特性を確認～
2026-11-09 株式会社明電舎明電舎と産業技術総合研究所は、ピュアオゾンガスと水蒸気から生成する高反応性のOHラジカルを、酸化物半導体インジウム酸化膜（InOₓ）の低温原子層堆積（ALD）プロセスに適用した。従来のオゾンを用いた成膜で...
OHラジカル
0403電子応用 水プラズマを使った宇宙探査機の新しい滅菌技術
2026-09-30 九州大学九州大学の研究グループは、宇宙探査機を惑星間汚染から守るため、水を原料とする低圧高周波水プラズマを利用した新しい滅菌技術を開発した。火星などへの探査では、探査機に付着した地球由来の微生物を他天体へ持ち込まない「...
2000原子力放射線一般 放射線による発がんリスクの"出発点"に迫る!～DNA周囲の水の分解が生命の遺伝情報を狂わせる～
2025-03-07 日本原子力研究開発機構,茨城大学,北海道大学,京都大学日本原子力研究開発機構(JAEA)などの研究チームは、放射線によるDNA損傷のメカニズムをシミュレーション解析し、発がんリスクの「しきい値が無いモデル」を支持する結...