0110情報・精密機器 走査型電子顕微鏡での元素組成分析を高い空間分解能で実現 走査型電子顕微鏡(SEM)中でのエネルギー分散型エックス線分光法(EDS)による元素分析を従来よりも2桁以上高い空間分解能で可視化する技術を開発した。 2019-11-07 0110情報・精密機器0501セラミックス及び無機化学製品0505化学装置及び設備1700応用理学一般