0110情報・精密機器 走査型電子顕微鏡での元素組成分析を高い空間分解能で実現
走査型電子顕微鏡(SEM)中でのエネルギー分散型エックス線分光法(EDS)による元素分析を従来よりも2桁以上高い空間分解能で可視化する技術を開発した。
0110情報・精密機器
0401発送配変電
0501セラミックス及び無機化学製品
0104動力エネルギー
0403電子応用
0102材料力学
0403電子応用
0501セラミックス及び無機化学製品
0403電子応用
0403電子応用
0501セラミックス及び無機化学製品