0107工場自動化及び産業機械 フェムト秒レーザー光の高次高調波によって薄膜の微細加工に成功!
近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波として極端紫外光を発生させ、その極端紫外光を回折限界にまで集光して試料に照射することによって、サブマイクロメートルスケールでの微細加工を実現した。
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0103機械力学・制御
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