2022-02-23

結合した2種高分子間の「つなぎ目」が鍵~半導体の微細加工に貢献する新しい高分子設計~ 1700応用理学一般

結合した2種高分子間の「つなぎ目」が鍵~半導体の微細加工に貢献する新しい高分子設計~

次世代半導体微細加工材料として注目されているポリスチレン(PS)とポリメタクリル酸メチル(PMMA)によるブロック共重合体であるPS-block-PMMAのつなぎ目にオリゴペプチドを精密に導入することで、PS-block-PMMAの相分離下限分子量よりも低い分子量で長周期のラメラ構造の形成に成功しました。
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