0505化学装置及び設備 世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功~パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献~
次世代半導体材料として注目される酸化ガリウム(β-Ga2O3)をハライド気相成長(HVPE)法によって6インチウエハ上に成膜することに世界で初めて成功しました。
0505化学装置及び設備
0104動力エネルギー
0203舶用機器
1701物理及び化学
1100衛生工学一般
1700応用理学一般
0403電子応用
0404情報通信
1701物理及び化学
2002原子炉システムの運転及び保守
1701物理及び化学
1702地球物理及び地球化学