ﾌﾞﾙｯｸﾍﾌﾞﾝ国立研究所(BNL)

高秩序ナノ構造を自由に 3D 構築 0501セラミックス及び無機化学製品

高秩序ナノ構造を自由に 3D 構築

(Nano-objects of Desire: Assembling Ordered Nanostructures in 3-D) 有機や無機のナノ物質を自由な3D構造に作製するDNA－プログラマブル・ナノファブリケーションプラットフォーム技術を開発。
2020-03-01
0501セラミックス及び無機化学製品0502有機化学製品0505化学装置及び設備1700応用理学一般1701物理及び化学
マイクロエレクトロニクスの進展に寄与するハイレゾパターニング材料の強化 0110情報・精密機器

マイクロエレクトロニクスの進展に寄与するハイレゾパターニング材料の強化

(Enhancing Materials for Hi-Res Patterning to Advance Microelectronics)浸透合成技術により、有機ポリマーのポリメチルメタクリレート(PMMA)と無機材料のアルミニウム酸化物を組合せたフォトレジストの製造に成功。
2019-10-26
0110情報・精密機器0403電子応用0501セラミックス及び無機化学製品0703金属材料
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