２次元電子ガス直接観察

高周波／パワーデバイスの２次元電子ガスの可視化に成功～最先端マテリアルの画期的な計測技術～

2023-03-22 東京大学ポイント半導体界面にナノメートルスケールで蓄積した電子キャリアを可視化することは極めて困難であった。電子顕微鏡を用いた新しい計測手法により、窒化ガリウム（ＧａＮ）系半導体界面の数ナノメートル領域に局在する２...

2023-03-22

0505化学装置及び設備