0403電子応用 ピュアオゾンガスと水蒸気によるOHラジカル生成技術を 酸化物半導体デバイス製造プロセスに適用 ～長期安定性に優れた半導体動作特性を確認～
2026-11-09 株式会社明電舎明電舎と産業技術総合研究所は、ピュアオゾンガスと水蒸気から生成する高反応性のOHラジカルを、酸化物半導体インジウム酸化膜（InOₓ）の低温原子層堆積（ALD）プロセスに適用した。従来のオゾンを用いた成膜で...
酸化物半導体
0403電子応用 
1603情報システム・データ工学 半導体デバイスの「逆問題」をミリ秒で解く手法を開発ー多値性を持つパラメータ空間でも、物性値を高精度に逆推定ー
2026-06-17 東京科学大学東京科学大学（Science Tokyo）、横浜市立大学、台湾国立中山大学などの共同研究グループは、半導体デバイスの測定結果から材料内部の物性値を逆算する「逆問題」を、1ミリ秒未満で高精度に解く機械学習手法...
1601コンピュータ工学 高品質な酸化物半導体で量子計算に利用できる電子状態を作り出すことに成功
エラーの起こりにくい量子計算機用素子に新たな展望2018/09/15 東京大学,科学技術振興機構（ＪＳＴ）,東北大学ポイント 高品質な酸化物半導体に強い磁場を加えることで、エラーが起こりにくい量子計算が可能とされる、特殊な電子状態を作り出...