薄膜型熱流センサ

熱の流出入を高精度に計測可能なフレキシブルセンサを開発~量産プロセスに適応した薄膜型熱流センサで実用化に前進~ 0402電気応用

熱の流出入を高精度に計測可能なフレキシブルセンサを開発~量産プロセスに適応した薄膜型熱流センサで実用化に前進~

2023-07-24 東京大学肥後 友也(物理学専攻 特任准教授/磁気界面物性講座 特任准教授)上杉 良太(物性研究所 博士課程)中辻 知(物理学専攻 教授/磁気界面物性講座 特任教授/物性研究所 特任教授)田中 宏和(日東電工株式会社 研...
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